VMB閥門(mén)分配箱(Valve Manifold Box)，是一種內(nèi)嵌多支路，實(shí)現(xiàn)高純氣體或液體分流的閥門(mén)箱，它能讓氣體從單一來(lái)源被分配到多點(diǎn)應(yīng)用。對(duì)于每個(gè)使用點(diǎn)， 氣壓可被單獨(dú)地調(diào)控， 從而滿(mǎn)足個(gè)別應(yīng)用需求。它還提供循環(huán)清潔功能和真空抽氣功能， 因此操作人員能夠在無(wú)危險(xiǎn)氣體泄漏的情況下安全地維護(hù)VMB的每一部份。除此以外，設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中能在不影響其它支路氣體供應(yīng)情況下，吹掃某一支路或?qū)ζ溥M(jìn)行真空抽氣。VMB 被設(shè)計(jì)且制造成為單一氣體使用，不能讓兩種氣體共同使用。專(zhuān)為腐蝕性、毒性等危險(xiǎn)性氣體供應(yīng)。閥門(mén)盤(pán)VMP(Valve Manifold Panel)與VMB區(qū)別在于它使用的開(kāi)放式管道分配部件，一般用于惰性氣體?！　?nbsp;　　目前因制程越來(lái)越先進(jìn)，所以產(chǎn)生BSGS的系統(tǒng)，而未達(dá)到供應(yīng)的穩(wěn)定，且可以一臺(tái)分配到多臺(tái)VMB，所以在中間都會(huì)在增加VDB 。VDB(Valve Distributing Box)就是VMB的總管，主管路到FAB內(nèi)先接VDB，再分到各各VMB內(nèi)，其中的VDB有些廠(chǎng)叫做FDB(Flow Dispense Box)，流量分配盒，一般都是用在流量需求特別大的氣體供應(yīng)上。VDB是進(jìn)二(有一路做BACKUP)路管道，出多路管道。惰性氣體可選用VDP(Valve Dispense Panel)。?　　閥門(mén)箱VMB和閥門(mén)盤(pán)VM在硬件上具有幾大部分，分別是人機(jī)界面、PLC電磁閥、警急遮斷按鈕、LED指示燈、紫/紅外線(xiàn)火焰感知器、差壓設(shè)定開(kāi)關(guān)、差壓計(jì)、繼電器、電源供應(yīng)器、溫度開(kāi)關(guān)、I.A過(guò)流量開(kāi)關(guān)等。其中，人機(jī)界面作為人與控制器的控制與溝通界面，一方面可顯示系統(tǒng)目前的狀況，還可接受操作人員下達(dá)的指令，作為系統(tǒng)運(yùn)作的確認(rèn)。而紫/紅外線(xiàn)火焰感知器可以在感測(cè)到火災(zāi)發(fā)生時(shí)作動(dòng)，將訊息傳至PLC處理;差壓設(shè)定開(kāi)關(guān)是當(dāng)箱體與大氣壓之差壓未達(dá)設(shè)定值動(dòng)作，可以將訊息傳至PLC處理;溫度開(kāi)關(guān)在感測(cè)到箱體溫度高于設(shè)定值時(shí)，能夠?qū)⒂嵪髦罰LC處理;I.A過(guò)流量開(kāi)關(guān)是當(dāng)驅(qū)動(dòng)氣動(dòng)閥之軟管松脫或爆裂導(dǎo)致流量過(guò)大時(shí)，可將輸出訊號(hào)告知。　　 　　歷經(jīng)多年的技術(shù)迭新與系統(tǒng)升級(jí)，目前閥門(mén)箱VMB和閥門(mén)盤(pán)VMP安全功能顯著，其部分操作應(yīng)用既滿(mǎn)足了工藝生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)高純介質(zhì)的連續(xù)供給和高純度的要求，同時(shí)也確保了工廠(chǎng)正常生產(chǎn)和員工人身安全。比如按下緊急停止按鈕即可關(guān)斷所有的氣動(dòng)閥;當(dāng)遠(yuǎn)程緊急停止動(dòng)作驅(qū)動(dòng)則即可關(guān)斷所有的氣動(dòng)閥;當(dāng)氣動(dòng)閥驅(qū)動(dòng)壓力不足時(shí)則會(huì)輸出警報(bào)告知，設(shè)定壓為 0.4 ~ 0.63 Mpa;當(dāng)偵測(cè)到箱體環(huán)境溫度高于設(shè)定值時(shí)則會(huì)輸出警報(bào)告知并且自動(dòng)關(guān)閉所有閥件，設(shè)定溫度為70℃;當(dāng)感測(cè)到火災(zāi)發(fā)生時(shí)作動(dòng)，則會(huì)輸出警報(bào)告知并且自動(dòng)關(guān)閉所有閥件;當(dāng)管路內(nèi)的流量過(guò)大導(dǎo)致驅(qū)動(dòng)過(guò)流量開(kāi)關(guān)(EFS)，則會(huì)輸出警報(bào)告知并且自動(dòng)關(guān)閉該使用側(cè)的閥件;當(dāng)箱體內(nèi)的壓差過(guò)小的狀態(tài)下，則會(huì)輸出警報(bào)告知，設(shè)定壓差為50 Pa以上?！　?nbsp;　　 　　長(zhǎng)期以來(lái)，作為專(zhuān)業(yè)從事氣體系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)安裝、技術(shù)服務(wù)咨詢(xún)和配套產(chǎn)品生產(chǎn)銷(xiāo)售為一體的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，沃飛科技致力于為先進(jìn)制造企業(yè)及研發(fā)機(jī)構(gòu)提供高純工藝系統(tǒng)解決方案，業(yè)務(wù)涵蓋了整個(gè)系統(tǒng)方案設(shè)計(jì)、材料和設(shè)備供應(yīng)、安裝、測(cè)試、調(diào)試和系統(tǒng)托管服務(wù)，工程項(xiàng)目覆蓋半導(dǎo)體、集成電路、平板顯示、光電、汽車(chē)、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫(yī)藥、各類(lèi)實(shí)驗(yàn)室、研究所、標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)等高科技行業(yè)，銳意為客戶(hù)提供高純介質(zhì)輸送系統(tǒng)全套解決方案，在成為行業(yè)領(lǐng)先的專(zhuān)業(yè)系統(tǒng)集成服務(wù)商的道路上穩(wěn)健快速發(fā)展，逐步成為行業(yè)領(lǐng)先的整體系統(tǒng)供應(yīng)商。