SEMI S2 標準涵蓋了半導體制造設備的環(huán)境、健康及安全條件，是一個綜合性的標準。代表了半導體廠家的基本安全要求，而半導體行業(yè)離不開特種氣體，所以保證安全穩(wěn)定輸送特種氣體的特氣柜也需要擁有SEMI S2認證。

因為半導體行業(yè)涉及到很多特種氣體、化學品及電氣、廠務、游離及非游離的輻射，所以在設備廠商進行設計時要引入SEMI S2標準，也即為EHS標準。這一點是非常重要的，如果處理不好，下游用戶在使用是時候就很容易導致事故甚至災難。

特氣柜在SEMI S2中認證哪些內(nèi)容呢？

SEMI S2在認證中綜合考慮了與設備相關的使用者文件、危險性警告標志、安全連鎖裝置、緊急停機、電氣安全、消防安全、人體工學、危險能量隔離、機械設計安全、地震保護、自動機械設備、環(huán)境因素、排氣、噪音等內(nèi)容。以確保設備本身安全及對環(huán)境、對人員的安全性，

沃飛WOFLY全自動特氣柜（GC）擁有SEMI S2認證，是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險性特種氣體供應而設計的特氣設備，以PLC為控制主體，配合觸摸屏進行系統(tǒng)顯示和設定，實現(xiàn)設備安全有效的運行，基本功能包括自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷（當設定報警信號被觸發(fā)時），還可根據(jù)不同的氣體特性和氣體使用要求，搭配不同的盤面設計，以滿足半導體行業(yè)需求。

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