VMP：閥組盤
特種氣體在輸送過程中使用的開放式管道分配裝置，用于向一個(gè)或多個(gè)工藝設(shè)備提供特種氣體，同時(shí)供應(yīng)數(shù)臺(tái)機(jī)臺(tái)，根據(jù)氣體種類進(jìn)行分類，將工藝氣體純化、過濾、減壓，達(dá)到客戶需求