特氣管道系統(tǒng)不銹鋼管徑的計(jì)算

特氣管道系統(tǒng)管徑的選擇是基于氣體的大小流量，氣體壓力值對(duì)計(jì)算的巨大影響不可忽視。此外，管道中氧氣的流速較低，可選擇8m/s。

在芯片工廠的設(shè)計(jì)中，工藝設(shè)備的氣體消耗通常有兩個(gè)值，一個(gè)是峰值，另一個(gè)是平均值，對(duì)于不同的設(shè)備，峰值與平均值之間的差異是完全不同的。那么計(jì)算管道直徑的基準(zhǔn)是什么流量？沃飛這里的技術(shù)提供了一些自己的設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)供參考:

首先，芯片廠工藝設(shè)備的運(yùn)行模式是間歇性的。在某一設(shè)備的運(yùn)行過程中，當(dāng)氣體消耗達(dá)到峰值時(shí)，會(huì)有一段短暫的時(shí)間，然后氣體消耗會(huì)下降甚至為零，導(dǎo)致峰值與平均值相差很大，甚至出現(xiàn)幾何級(jí)數(shù)的差異。

對(duì)于主管道，所有工藝設(shè)備峰值之和流量可乘以系數(shù)(一般為0.7-0.8)作為流量值，因此計(jì)算出的管徑基本滿足供氣需求。由于FAB中的所有工藝設(shè)備不可能同時(shí)達(dá)到氣體消耗的峰值，因此沒有必要使用總峰值流量作為計(jì)算基礎(chǔ)。管徑過大只會(huì)浪費(fèi)錢。

對(duì)于支管甚至支管，需要根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行具體分析。如果支管中有更多的氣點(diǎn)，可以使用主要的處理方法。如果用氣點(diǎn)不多甚至只有一個(gè)，用用氣點(diǎn)的總峰值流量計(jì)算更可靠。