隨著現(xiàn)在半導(dǎo)體行業(yè)、實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)綜合廠房的不斷發(fā)展，高純電子特氣系統(tǒng)被廣泛應(yīng)用。GR特氣架、GC特氣柜在這些行業(yè)里成為了標(biāo)配，很容易見到。

高純電子特氣系統(tǒng)輸送的氣體，是特氣，具有腐蝕、劇毒等性質(zhì)的危險(xiǎn)性氣體，那它的特氣設(shè)備的配置、使用有哪些規(guī)范呢？

GC特氣柜是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險(xiǎn)性氣體供應(yīng)而設(shè)計(jì)的供應(yīng)系統(tǒng)，按類別分全自動(dòng)、半自動(dòng)和手動(dòng)操作。基本功能包括自動(dòng)吹掃、自動(dòng)切換以及緊急情況下的自動(dòng)安全切斷（當(dāng)設(shè)定報(bào)警信號(hào)被觸發(fā)時(shí)）。

咱們下面以沃飛WOFLY全自動(dòng)特氣柜（GC）為例，全自動(dòng)特氣柜以PLC為控制主體，配合觸摸屏進(jìn)行系統(tǒng)顯示和設(shè)定，搭配不同的盤面設(shè)計(jì)，以滿足太陽能、半導(dǎo)體行業(yè)需求。

特氣系統(tǒng)設(shè)備GC配置規(guī)范:

1.GC應(yīng)配置作業(yè)用氣體面板。

2.氣柜應(yīng)有帶機(jī)械鎖的自關(guān)閉的柜門，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)關(guān)閉功能，并且配備防爆玻璃觀察窗，遞交螺栓設(shè)計(jì)應(yīng)滿足當(dāng)?shù)氐卣鹪O(shè)防烈度的要求。

3.氣瓶柜在柜門關(guān)閉時(shí)，氣瓶柜內(nèi)部是處于負(fù)壓狀態(tài)，而且不得低于100Pa，還有柜內(nèi)的排風(fēng)換氣的頻率不能低于300次/H。

4.報(bào)警偵測(cè)警報(bào)功能齊全。

5.氣瓶柜的板材需要有防腐蝕涂層，且板材厚度不得低于2.5mm。

6.急停按鈕應(yīng)位于控制面板上

對(duì)于有特殊需求的客戶，WOFLY特氣柜可能需配備一些其他的安全裝備，比如：氣柜里安裝噴淋頭，在氣體下游流量過大是報(bào)警的過流開關(guān)，需要安裝溫度開關(guān)的可燃?xì)怏w系統(tǒng)等，具體的配置是根據(jù)需求發(fā)生改變的。

以上，就是特氣系統(tǒng)里的特氣設(shè)備，GC特氣柜一些基礎(chǔ)配置規(guī)范啦。感謝您的閱讀！