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沃飛科技創(chuàng)新全自動特氣柜,筑牢半導(dǎo)體制程工藝安全防線

2021-04-14 15:31:47        0

  

  近幾年,隨著國內(nèi)智能移動設(shè)備、自動駕駛汽車、云服務(wù)數(shù)據(jù)、5G通信、環(huán)保新能源等強勁的市場需求,促進了包括半導(dǎo)體集成電路芯片、液晶面板、光伏等行業(yè)產(chǎn)品的迅猛發(fā)展。這些領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)鏈大致可以分為上游的高純材料,中游的芯片制造以及下游的終端產(chǎn)品。其中,上游的高純材料制造和傳輸與中游的芯片制造,包含了大量復(fù)雜的工藝流程,而關(guān)鍵的工藝系統(tǒng)就是流體系統(tǒng)。


  由于集成電路芯片制造的工藝設(shè)備需要大量工藝氣體參與反應(yīng),其中強腐蝕性的氣體有氯化氫、三氯化硼、溴化氫等。對于此類腐蝕性氣體應(yīng)用,應(yīng)當(dāng)采用高質(zhì)量的特氣柜產(chǎn)品,筑牢安全防線。


  在特氣柜研發(fā)制造上,目前行業(yè)表現(xiàn)出色的當(dāng)為沃飛科技。長期以來,沃飛科技嚴(yán)格按照ISO9001標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行各項管理,產(chǎn)品有多項國家專利及CE/ROHS/SIME認(rèn)證,憑借著卓越的研發(fā)能力與精銳的技術(shù)力量,能夠圍繞客戶提供大宗氣體系統(tǒng)、電子特氣系統(tǒng)、實驗室氣路系統(tǒng)、工業(yè)集中供氣系統(tǒng)、潔凈氣體管道、高純化學(xué)品供液系統(tǒng)、Local Scrubber尾氣處理系統(tǒng)等工程項目設(shè)計安裝交鑰匙模式高性能和高質(zhì)量的解決方案。經(jīng)過多年的行業(yè)技術(shù)積累和穩(wěn)健快速發(fā)展,公司主營業(yè)務(wù)和產(chǎn)品在市場上積累了良好的業(yè)績和口碑,獲得客戶的高度認(rèn)可。



  沃飛科技緊跟半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展趨勢,利用自身豐富的設(shè)計能力和實踐經(jīng)驗,貼近客戶應(yīng)用并不斷創(chuàng)新。其全自動特氣柜(GC)是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險性特種氣體供應(yīng)而設(shè)計的特氣設(shè)備,在感受到外界環(huán)境變化達(dá)到閾值時會有信號輸出至中控室,并發(fā)出警報,設(shè)備會自動切斷,確保生產(chǎn)安全。


  其以PLC為控制主體,配合觸摸屏進行系統(tǒng)顯示和設(shè)定,實現(xiàn)設(shè)備安全有效的運行。其內(nèi)部PLC程式設(shè)計的安全聯(lián)鎖功能、高純閥件的合理選擇和布局,既滿足了半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)過程中對特殊氣體連續(xù)供給和高純度的要求,同時也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全,有助于企業(yè)全面落實企業(yè)安全生產(chǎn)責(zé)任制,強化安全生產(chǎn),對重大危險氣體源頭進行管控,從源頭上防范安全生產(chǎn)責(zé)任事故的發(fā)生。


  該設(shè)備擁有SIME 2認(rèn)證,在產(chǎn)品品質(zhì)和功能方面值得信賴和放心,第一時間發(fā)現(xiàn)泄漏并阻止泄漏氣體擴散,及時報警處理,避免更大事故的發(fā)生,還可根據(jù)不同的氣體特性和氣體使用要求,搭配不同的盤面設(shè)計,全面滿足客戶的行業(yè)需求。


  在半導(dǎo)體等行業(yè)制程工藝中,需要“安全”和“穩(wěn)定”地使用特種氣體,普通的氣瓶柜無論是在材質(zhì)上還是功能上都無法滿足要求,所以半導(dǎo)體行業(yè)可配置有SEMI S2認(rèn)證的沃飛科技電子特氣柜。選擇沃飛科技,實力品牌質(zhì)量有保障!