在半導體行業(yè)中，SiNx薄膜材料常作為集成電路最后的鈍化保護層。一般通過CVD（化學氣相沉積）制成，其中一種常用氣態(tài)原材料就是硅烷（SiH4），我們今天就以硅烷（SiH4）為例，從安全使用角度來具體分析一下特氣柜的設計功能體現(xiàn)在哪些方面？有何作用？

從特氣使用的角度解釋特氣柜的功能：

硅烷（SiH4）是一種在常溫常壓下具有惡臭的無色氣體。它還是一種在室溫下能著火、在空氣或鹵素氣體中能爆炸性燃燒的劇毒性特種氣體。

1.  硅烷氣體鋼瓶安裝或更換前，沃飛WOFLY全自動特氣柜（GC）的基本功能：自動吹掃，能排除氣體管道中的氣體雜質，保證氣體純度；排除氣體管道中殘余的危險性氣體，保證人員安全。

2.  實驗生產有時需要長時間的氣體供應，沃飛WOFLY全自動特氣柜（GC）的基本功能：自動切換，搭配內部的PLC程序，可實現(xiàn)硅烷的高純度和連續(xù)穩(wěn)定供應，保障實驗或生產的正常進行。

3.  硅烷（SiH4）與空氣會自燃，沃飛WOFLY全自動特氣柜（GC）柜內可配備氣體泄露偵測器、火焰探測器等，報警偵測警報功能齊全，并在柜門關閉情況下，特氣柜內部都處于負壓狀態(tài)，可第一時間發(fā)現(xiàn)泄漏并阻止泄漏氣體擴散，及時報警處理，避免更大事故的發(fā)生，確保了正常生產和員工人身安全。

最后，沃飛WOFLY全自動特氣柜（GC）擁有SEMI S2認證，SEMI S2（Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment）是針對半導體制程設備供貨商所規(guī)范的基本健康和安全要求安全標準，代表了半導體廠家的基本安全要求。

以上，就是以硅烷為例，從CVD制程工藝用氣的安全使用角度來看特氣柜的功能設計，感謝您的閱讀，更多氣體應用資訊，盡在沃飛！