想要有一個優(yōu)質的高純氣體管道系統(tǒng)，就要在高純氣體管道安裝上下功夫。管道安裝除了配管和附件材質的選擇以外，最要做好的就是氣體管道整體規(guī)劃設計了。

所謂，磨刀不誤砍柴工，優(yōu)秀且全面的高純氣體管道安裝設計能避免施工中很多問題。下面就讓有多年從事氣體管道安裝經驗的沃飛科技來分享一下管道安裝的設計要點吧！

從氣體性質和純度考慮：

1)  對于不同特性的氣體，應規(guī)劃獨立的供應區(qū)域。一般分為三個區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，將相同性質的氣體集中加強管理，可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口，若空間不足，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。

2)  對高純氣體純度要求不同的用氣設備，宜采用分等級高純氣體輸送系統(tǒng)；也可采用同等級輸送系統(tǒng)，但是在純度要求高的用氣設備鄰近處設末端氣體提純裝置。

3)  根據用氣設備的分布情況，高純氣體的管網不宜過大或者過長；宜采用不封閉的環(huán)形管路，在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體，以便在管網中總有高純氣體流通，不會發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。

4)  管路中應減少不流動氣體的“死空間”，不應設有盲管，在特種氣體的儲氣瓶與用氣設備之間應設吹掃控制裝置、多閥門控制裝置、用以控制各個閥門的開關順序、系統(tǒng)吹除，以確保供氣系統(tǒng)的安全、可靠運行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物，降低氣體純度。

從氣體檢測方面考慮：

1)  為了檢測高純氣體的純度和雜質含量，輸送系統(tǒng)除了設置必要的連續(xù)檢測儀器，如衡量水含量或者氧雜質含量等分析儀外，還應設置定期取樣用的檢測采樣口，以便按規(guī)定時間進行采樣，分析高純氣體中各種雜質的含量。

2)  在亞微米級的集成電路生產中，要求供應10－9級的高純氣體，為了確保末端用氣工藝設備處的氣體純度，使氣體中的雜質含量（包括塵粒）控制在規(guī)定的數值內，一般在設備前設置末端純化裝置，或末端高精度氣體過濾器。

從經濟性方面考慮：

管路設計需要考慮輸送的距離，距離越長，成本越高，風險也越高，通常較合理的設計流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S，在用量設計方面，則需要考慮使用點的壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關，后者使用點的管徑一般為1/4”～3/8”。

以上，便是沃飛分享的一些管道安裝的設計經驗，高純氣體管道安裝前的整體規(guī)劃設計影響著整個工程的質量和效率，將問題消滅于萌芽之中。感謝您的閱讀，更多氣體應用資訊，請關注我們！